旧单晶硅炉静安螺杆真空泵维修/保养单晶炉型号定义单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的单晶炉主要需要控制的方面一、晶体直径（尺寸）二、温度（功率控制）三、原料（硅料）四、泄漏率，氩气质量等据统计，上硅单晶的产量中70%～80%是用直拉法生产的。再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中，要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度V向上(下)运动，而且当提拉负载增大引起线速度为零时，提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中，对提拉控制系统提出的主要技术指标是，提拉速度在0.2～10.0mm/h范围之内实现无级可调。99%以上的集成电路是硅集成电路，生产集成电路所需要的单晶硅，是在硅结晶生长始时，用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中，对晶体的提拉速度有十分严格的要求，从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。
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