蓝宝石单晶炉温州平阳真空泵附近的电话使含有一氧化硅的氩气气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口，在真空泵的作用下，排出炉外。密封导气管装置由导气管，底 座，密封环，排气口所组成，在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出，从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀， 影响单晶炉的使用寿命。其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装 种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置且其向炉内充入氩气时的充气气压在1. 3xi03Pa 以上，导致其氩气流量较大，故而氩气消耗量大，生产成本较高。整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外，整个炉内不存在排气不畅的地方，即不存在排气死角。有效地减小了炉内空间，便于迅速及时地将炉内的一氧化硅与氩气的混合气体排出，且利于减少热能和氩气的消耗量，使原有的引晶功率从65KW减到61KW，另外。还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明的直拉式单晶生长炉中，碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和部的排气口之间。氩气流量为30L/min。该氩气流量不但不影响该炉中单晶的生长，平均每个直拉式单晶生长炉每天可少消耗1440L氩气，有效降低了生产成本。石墨具有强度高，抗热震性好，耐高温，抗氧化，电阻系数小，耐腐蚀，易于精密机等优点。
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影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接，以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接，以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气，影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通，以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成，石墨具有强度高，抗热震性好，耐高 温。4.接地导线截面不够或保护地线截面不够，保护地线串接，对这些不符合要求的应按有关规定进行纠正。配电箱，盘内的PE线端子适用于一般公用建筑工程，民用住宅工程不宜使用。
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2，有电流互感器和电压互感器的二次绕组应有性的，可靠的保护接地。3，在运行的电流互感器二次回路上工作时，应采取下列安全措施。3.1严禁将电流回路断。3.2为了可靠地将电流互感器二次线圈短路，必须使用短路片和短路线，禁止使用导线缠绕。3.2禁止在电流互感器与短路端子之间的回路和导线上进行任何工作。4，在运行中的电压互感器二次回路上工作时，应采取下列安全措施。4.1严格防止短路或接地4.2应使用绝缘工具，戴绝缘手套，必要时在工作前停用有关继电保护装置。4.3接临时负载时，必须装有专用的关和熔断器。4.4二次回路通电试验时，为防止由二次侧向一次反变压，除将二次回路断外，还应取下一次熔断器。4.5二次回路通电或耐压试验前，应通知值班员和有关人员，并派人看守现场，检查回路，确认无人工作后方可加压。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵， 单晶炉炉室壳体均用不锈钢制成，因此焊接一般都是采用钨极氩弧焊或熔化极氩弧焊工艺。采用氩弧焊具有氩气的保护作用，焊缝的强度高，耐腐蚀性好，氩弧的温度高，热量集中，并由于氩气流的冷却作用，焊缝的热影响小。焊件的变形小，焊接时无焊渣，不需清渣，并无渣等缺陷。虽然奥氏体不锈钢具有良好的可焊性，但如果焊接材料选用不当或焊接工艺不正确，也会产生很多问题，如：晶间腐蚀、热裂缝和气孔。
