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发布:2024/5/6 19:42:52 来源:shxj365


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主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的能,可以大致分为加热系统,传热及支撑系统,导流系统,保温系统等。如加热系统包括加热器,石墨电极,连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚,石英坩埚,托盘,坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖,保温筒,保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料以及晶棒的拉速和品质。而石墨加热器作为加热系统的核心部件2加热器的工作原理与使用要求。

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